主要特許

特願2012-208969、力センサ、澤田、竹下、岩崎拓、有永、出願日: 2012/9/21
特願2005-149907、変位測定装置、澤田廉士、千野、日本、平成17 年5 月出願
特願2011-239053 光走査装置Optical scanner, Patent Application No.2011-239053
特願2011-239054 マイクロスキャナMicro scanner, Patent Application No.2011-239054
特願2011-239055 マイクロスキャナMicro scanner, Patent Application No.2011-239055
特願2004-101011、「エンコーダ」、澤田廉士、日暮栄治他、日本、平成16 年3 月30 日出願、
特願2004-324937、センサ部及び生体センサ、澤田廉士、日暮栄治、九州大学・東京大学、日本、平成16 年11 月9 日出願
外国特許(米国、欧州)出願番号PCT/JP2005/0201、センサ部及び生体センサ」、澤田廉士、日暮栄治、九州大学・東京大学、平成17 年11 月1日出願
特願2005-149907、変位測定装置、澤田、千野、九州大学、神奈川電子工業株式会社、平成17 年5月 日出願
出願、 動物集団の健康管理を行うシステム及び方法、伊藤寿浩、澤田廉士、前田龍太郎(2006 年5月出願)
NTT 時代(九州大学着任以前)
1995-067625、エンコーダおよびその製造方法、澤田他
1994-310340、半導体基板及びその作製法、澤田他
1986-314364、ウエフア積層体作製装置、澤田他
1987-059016、相変態形書き替え可能光記録媒体光ヘツド用半導体アレイレーザ、澤田他、外国特許も出願
1987-140104、半導体レーザ、澤田他、外国特許も出願
1980-120965、シリコンウエハの加工量自動検出装置、澤田他
1978-114042、研摩剤供給装置、澤田他
1978-159171、ポリシヤの製造方法、澤田他
1995-206184、素子のボンディング方法及びその装置
1995-333706、ネジのバックラッシュ除去方法及び機構
1996-121958、単動又は微粗複動マイクロメータヘッド及びマイクロメータ
1994-039411、多層構造の誘電体分離半導体基板及びその製造方法
1993-184040、真空駆動小形メカニズム
1993-103760、ポリイミドフィルム及びその製造方法
1992-355356、光エンコーダ
1992-357318、光エンコーダ
1993-002817、イオンビ―ムプロセス装置のプラズマ引出し用グリッド
1993-049987、半導体レーザ装置、外国特許も出願
1992-276828、磁場制御型反応性イオンエッチング用ポリイミド組成物、外国特許も出願
1992-054982、光学素子のボンディング装置及びこの装置を用いたボンディング方法
1992-074664、ベローズ
1991-305616、レコード用光ピックアップ
1991-235751、半導体レーザ
1996-131664、レーザ測長器およびその製造方
1996-125488、光放射圧による微粒子の保持方法および変位測定方法
1996-121364、変位測定装置およびその製造方法
1996-238745、半導体チップ検査用プローブとその製法
1980-022208、基板の曲げによるゲツタリング処理方法
1993 年1 月27 日提出、マイクロポンプ
1993 年2 月1 日提出、埋め込リフトオフによる立体構造の金属化および絶縁化
1994-294902、ポリイミドフィルム及びその製造
1981-049911、ゲツタリング方法
1981-032877、半導体板寸法の光学的測定方法
1980-119862、形状加工方法
1982-068658、誘電体分離した半導体基板及びその製造方法
1982-010655、誘電体分離基板の製造方法
1982-009739、絶縁層上への単結晶膜形成方法
1982-009738、絶縁層上への単結晶膜形成方法
1982-002798、透明体板厚みの光学的測定方法
1981-142530、ゲツタリング法
1981-142531、半導体装置の製造方法
1982-192112、導電性体の研摩方法
1985-082609、半導体基板の接合方法、外国特許も出願
1985-272302、砥石および刃物工具の製造方法
1985-272301、砥石および刃物工具の製造方法
1986-017875、同一平面上に互いに分離しかつ複数の材料からなる島領域を有する複合基板の作製方法
1985-270696、石英系光導波路の光学的測定方法
1987-313340、マルチビーム半導体レーザ
1989-044382、半導体レーザ装置
1990-093514、エンコーダ、外国特許も出願
1989-297715、薄膜堆積装置
1989-224624、半導体レーザダイオード
1991-130071、エンコーダ
1990-239914、光学素子のボンデイング方法及びその装置
1990-210390、小型部品保持機構
1990-177334、スート堆積方法
1997-082821、変位測定装置
1997-298619、速度測定装置およびその製造方法
1998-191293、集積型マイクロ変位計
1998-263534、フーリエ変換分光用干渉計
1999-021156、弾性電気接点微小プローブ装置及びその製法
1999-163592、エンコーダ
1999-239211、エンコーダ用パッケージ、ヒートシンク、ステムおよびエンコーダ用パッケージの製造方法
1999-192013、変位測定装置
1999-281088、エタロン装置
2000-158724、エンコーダおよびその製造方法
2000-246141、加速度センサ
2001-313006、マイクロミラー装置およびその製造方法、
外国特許も出願特許登録6431714、Mirror、澤田、丸野、米国など、2002 年8
月13 日、外国特許米国なども取得
2002-25303、血流計及び血流計のセンサ部、
外国特許も出願、2003-022692
2002-010106、レーザ干渉計
2001-3507、エンコーダ
2001-162149、光スイッチング装置及び光スイッチング法、特許登録4978379、
1990 年12 月18 日、「Method of joining semiconductor substrates」、澤田、渡辺, 米国など、
特許登録682144、Encoder、澤田、田中、嶋田、1991 年4 月8 日、外国特許米国なども取得
特願7-206184、素子のボンディング方法及びその装置」,中田、澤田,平成7年8 月11 日
特許第03393049 号、「速度測定装置およびその製造方法」、伊藤高廣、澤田廉士、日暮栄治、日
本電信電話株式会社、平成9 年10 月30 日出願
特願2001-26401、「血流計」、日暮栄治、澤田廉士、伊藤高廣、日本電信電話株式会社、日本、
平成13 年2 月2 日出願
特願2002-025303、血流計及び血流計のセンサ部」、日暮栄治、澤田廉士、伊藤高廣、日本電信
電話株式会社、日本、平成14 年2 月1 日出願。Blood Flowmeter and Sensor Part of the BloodFlowmeter, Eiji Higurashi, Renshi Sawada, Takahiro Ito, NTT, U.S. Application Ser. No.10/061,602。Blutfluβmesser und Sensorteil des Blutfluβmessers, Eiji Higurashi, Renshi Sawada,
Takahiro Ito, NTT, German Patent Application No. DE 102 03 720.5-35,
特願平2003-022692、血流計のセンサ部及び血流計、日暮栄治、澤田廉士、伊藤高廣、日本電
信電話株式会社、日本、平成15 年1 月30 日出願、
主要特許登録
エンコーダ、特許登録番号3034899
素子のボンディング方法及びその装置、特許登録番号3042762
相変態形書き替え可能光記録媒体光ヘツド用半導体アレイレーザ、特許登録番号 01933630
エンコーダ、特許登録番号 3209654
マイクロミラー、2001-162149、光スイッチング装置及び光スイッチング法、特許登録4978379、
特許を利用した製品
赤外線光切断装置、浜松フォトニクス株式会社(当時浜松テレビ株式会社)
SODIC 基板、日本セラミック株式会社(鳥取県)
高精度ボンダ、三鷹光器株式会社(東京都三鷹市)

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